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日本 Micro-tec ESC-500 静电夹具专用丝网印刷机半导体静电卡盘用新品

报价：300元

品牌：
产地：	日本
关注度：	183
型号：	ESC-500 型

标签

森泽半导体行业专用仪器

森泽ESC-500 型

国产半导体行业专用仪器

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日本 Micro‑tec ESC‑500 静电夹具专用丝网印刷机半导体静电卡盘

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产品介绍

内部电极

嵌入在绝缘体内部的正/负极，通过施加电压来产生静电力。

加热机制（根据需要）

为控制晶圆的温度，会内置加热器。

Micro-tec ESC-500 是专为半导体静电卡盘 ESC 制造开发的专用精密丝网印刷设备，适配MAX 12 英寸陶瓷基板制程，用于静电卡盘内部电极层、介质浆料图形的精密印刷成型。设备搭载静电吸附工作台，依靠正负电压施加产生静电力固定陶瓷基材；标配双向离模机构，刮刀行进速度、刮刀下压量、工作台吸附力均可独立调节并存储为工艺配方，方便多批次生产复现。可选配基板加热模块，满足特定浆料的温控印刷需求；整机采用洁净钣金设计，适配半导体洁净车间环境，可稳定完成导电浆料、介电浆料的微图形印刷，是静电卡盘核心电极成型工序的专用设备。主要用于半导体静电吸盘（ESC）、微电子精密陶瓷元件的电极图形制作，适配半导体装备核心零部件的中试与量产制程。

【规格】

・打印范围：适用于12英寸

·双向启停机构

・滑板速度可调节（可通过配方设置）

・刮刀压紧力度可调节（可通过配方设置）

・工作台吸力可调节（可通过配方设置）

? 产品特点专为半导体静电卡盘 ESC 电极印刷定制面向静电吸盘内部导电电极、介电层浆料成型开发，匹配 ESC 核心层结构制造工艺。静电吸附工作台，降低基板夹持损伤采用静电吸附固定陶瓷基板，无机械夹边应力，减少薄型陶瓷基板形变、崩边风险。双向离模结构，保障薄浆层印刷均匀性可控双向离模动作，抑制浆料拉丝、图案变形，提升电极薄膜厚度与图形一致性。全参数配方管理，工艺可复现刮刀速度、下压量、吸附压力等参数可保存为多套配方，便于换型、量产工艺稳定管控。可选基板加热模块，适配热敏浆料选配内置加热机构，可管控基板温度，适配不同粘度、固化特性的导电 / 介电浆料。洁净型整机设计，适配半导体产线环境封闭式防尘柜体，适配洁净车间部署，降低印刷环节异物污染，满足半导体零部件质控要求。

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产品小贴士

日本 Micro-tec ESC-500 静电夹具专用丝网印刷机半导体静电卡盘用由深圳森泽工业品有限公司提供，产地为日本，属于进口半导体行业专用仪器，符合多项国家和国际标准，广泛应用于食品/饮料、石油/化工、矿业/冶金、轻工业、能源等领域，日本 Micro-tec ESC-500 静电夹具专用丝网印刷机半导体静电卡盘用凭借其创新性与实用性，在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示：该产品已通过粉体网认证，在产品性能、服务能力等维度表现优异，用户平均评分达9.5（满分 10 分）。

根据森泽官方产品资料显示：日本 Micro-tec ESC-500 静电夹具专用丝网印刷机半导体静电卡盘用的价格为300元，具体型号是ESC-500 型。

在同系列产品中，您还可以选择以下型号:

产品名称	型号	产地类型	价格
日本 Micro‑tec ESC‑500 静电夹具专用丝网印刷机半导体静电卡盘	ESC‑500	进口	300元
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日本 NEOARK 晶圆用垂直磁特性评估装置 12寸晶圆 MTJ膜	12寸晶圆 MTJ膜	进口	300元

官方链接：
https://m.cnpowder.com.cn/ns36777/productsdetail_396159.html
来源：深圳森泽工业品有限公司

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工商信息

企业名称

深圳森泽工业品有限公司

企业类型

信用代码

91440300MAKDH8EP3N

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围