炉管尺寸

φ80mm（外径）

加热元件

硅碳棒

工作温度

≤1350℃

温控系统

30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为液晶触摸屏控制

控温精度

±1℃

加热区长度

750mm(3点控温）

气路系统内部装有5路高精度质量流量计可准确的控制气体流量，按要求配比，配有1路鼓泡器

控制范围

2～100％F.S.

准确度

≤10SLM ±1％F.S.，＞10SLM ±2％F.S.

线性

≤10SLM ±0.5％F.S.，＞10SLM ±2％F.S.

重复精度

±0.2％F.S.

响应时间

≤2 sec

预抽真空泵抽速

30m³/H

设备功率

18KW

液态碳源调控注入系统

注液规格

10ul-140ml

工作模式

注入，抽取，注入抽取，抽取注入，连续模式

通道数

1

**行程

140mm

行程分辨率

0.156um/ustep

线速度范围

1um/min-150um/min

线速度调节分辨率

1um/min

行程控制精度

误差＜±0.35%（行程＞**行程30%时）

冷却水要求

制冷量

2361btu/h

流量

不小于10L/min