产品特色

1、三段电阻丝加热炉，加热温区300+300+300，上下6点独立控温，温场均匀性好；

2、设备两端配有磁流体密封法兰，确保炉管能在真空条件下进行转动；

3、设备配有螺旋上料机构，上料电机转速可调，可自由调节上料速度；

4、智能一体化工控屏显示控制，操作界面简洁，方便使用。

设备组成

本台定制回转CVD设备，可实现一次加3L粉料进行生产；从结构上共分成主体设备、上料机构、收料机构三大模块。

一、主体CVD设备

主体CVD设备主要包含加热系统、气路系统、真空系统、炉管回转机构。

1、加热系统：三温区加热炉膛，温区长度300+300+300mm，总加热功率12KW。控温热电偶为K型热电偶，每段温区炉膛上下各1个控温点独立控温，提高炉膛温场均匀性。

2、气路系统：6路工作气体，分别由5个D07-19B 500sccm N2和1个CS200A 500sccm N2质量流量计控制进入混气罐，另外配置1路吹扫气路，由1个D07-19B 5slm N2质量流量计并联接入混气罐之前，可以对整个气路系统进行吹扫。

3、真空系统：采用BSV30真空泵，并配置PCG550真空计检测腔体真空度。

4、炉管回转机构：采用伺服电机，并配置1:30减速机，保证炉管回转平稳。

二、上料机构

上料机构由螺杆送料器、升降机构、滑动滑轨组成，送料前通过摇动涡轮升降器手柄可以调节螺杆送料器的送料螺杆的中心高度，与设备法兰中心高度一致后，锁紧升降器上方导柱的锁紧手柄；可左右移动送料螺杆至合适位置进行送料。

三、收料机构

用真空泵将收料桶抽成真空状态，将收料杆深入设备内部物料处，打开收料杆上的球阀，利用真空负压产生的吸力将物料吸入收料桶内。

技术参数