极限温度：

1200℃

工作温度：

≤1100 ℃

温度控制器：

PID自动控制晶闸管（可控硅）输出功率， 30段可编程控制器

升温速率：

≤50℃/min

加热区：

200+200mm

恒温区：

100+100mm

控温精度：

±1 ℃

电源：

单相220V，交流50Hz

3路质量流量供气系统

（触摸屏控制）

**电压：

185~245V/50Hz

**输出功率：

18W

流量计标准量程：

100 ，200，500SCCM

（非特殊指定以氮气标定，量程可选定）

工作温度：

5~45 ºC

工作压差：

0.1～0.5 MPa

**压力：

3MPa

准确度：

±1.5% FS 

低真空系统

抽速：

8.11 m³/h

极限总压：

3×10-3 mabr

进排气口：

DN 25 KF

噪音

（气镇开关时，距离1米处测量）

54 dB

注油量：

0.7- 1.1 L

重量：

21 Kg

工作温度：

10~40 ℃

功率：

550W