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SemiChem 在线浓度监测仪新品
报价:面议
品牌:
产地: 美国
关注度: 3554
型号: SemiChem APM
核心参数

灵敏度:±0.2%相对误差

分辨率:显示值的±0.2%

重现性:99%

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产品介绍

SemiChem 在线浓度监测仪

Entegris在设计和生产用于半导体制造工艺中 的化学机械平坦化(CMP)浆料和配方清洁化学品的高精度分析仪器的有丰富的经验。我们的技术旨在确保复杂混合化学品的精确一致性,并在 CMP和配方清洁工艺中实现高产量。


我们的 SemiChem Advanced Process Monitor SemiChem 在线浓度监测仪)是集自动取样、分析和报告关键过程的定量化学浓度的化学监测系统。全面的在线化学监测可实时校正浆料成分,从而稳定控制工艺生产条件。该系统可提供分类化学浓度数据。当立即显现时,可以快速纠正可能对产品质量产生负面影响的变化,有助于满足更高产品产量的要求。


应用领域

在全球范围内,我们安装了近3000套SemiChem APM系统,用于控制金属 CMP 浓度。它是控制CMP过氧化物的可靠的中心工具,并被证明在微电子环境中的所有湿化学应用中都具有较好的性能,包括:

·铜,钨,阻挡层和金属CMP

·制定清洁

·DSP+

·湿法蚀刻,氮化物蚀刻

·平底蚀刻,食人鱼蚀刻

·高频

·废水


功能与特点


经验证的标准电化学技术提供行业精确的监控,以保证过程化学成分和完整性
提供化学浓度数据,使浆料/化学分配系统能够提供准确的化学浓度
在线的,接近实时检测的系检测挥发性化学物质的工艺偏差,防止产品质量损坏
将实验室技术过渡到在线,实现快速准确的在线控制
坚固耐用的工业设计维持至少8500小时平均工作时间
可经受严峻的工业环境





规格


分析方法电位测定法,标准加成法,光度测定法
电位测量的准确性* 显示值的±0.2%
标准添加的准确性* 显示值的±2.0%
电位测量精度* ±0.2%相对误差
标准添加精度* ±2.0%相对误差
测量时间>5分钟/次(取决于应用程序)
校准间隔 启动时**
样品消耗<5 mL/次
进样量0.05-5 mL(取决于应用)
进样温度**93°C(200°F)
耗水量<1000 mL/分析
样品进样/排样<207 kPa(30 psi),0.5 L/min
1/4" OD扩口接头,1" FPT安全壳联轴器
去离子水138至276 kPa(20至40 psi)
2.0升/分钟
外径 1/4" 扩口接头
CDA414-552 kPa(60-80 psi)
1/4" 外径快速接头
排水工艺:3/4“NPT重力排水管    机柜:1/2“NPT重力
电源110/220 VAC,50/60 Hz,1/0.5 A现场可切换
废气外径1 7/8" @ 17 CFM




























标准功能可选功能

·四个4-20 mA模拟输出

·八个可编程继电器

·以太网和RS232串行

·彩色触摸屏

·单个测量单元

·综合试剂储存

·单个采样点

·一个5 mL数字滴定管

·多传感器输入

·多个采样点

·额外的5 mL数字滴定管

·附加传感器

·安全联锁装置

·试剂微量检测












尺寸



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工商信息
企业名称

上海奥法美嘉生物科技有限公司

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91310115560134824G

法人代表

刘月宾

注册地址

上海市闵行区新骏环路588号23幢402室

成立日期

2010-08-09

注册资本

500万(元)

有效期限

2010-08-09 至 2030-08-08

经营范围

从事生物科技、医药科技、计算机科技、系统集成科技领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务,仪器仪表、化工产品(除危险品)及中间体的研发,仪器仪表、电子产品的设计、生产、制造、维修服务,设备租赁,计算机维修,化工原料及产品(除危险化学品、监控化学品、烟花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化学品)、化妆品、日用品、五金交电、电气设备、机械设备、电子产品、计算机、仪器仪表、实验室仪器的销售,房屋租赁,从事货物及技术的进出口业务,商务信息咨询,质检技术服务,认证服务。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】

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