F50 系列
 
自动化薄膜测绘
Filmetrics F50 系列的产品能以每秒测绘两个点的速度快速的测绘薄膜厚度。一个电动R-Theta 平台可接受标准和客制化夹盘，样品直径可达450毫米。(耐用的平台在我们的量产系统能够执行数百万次的量测!)

测绘图案可以是极座标、矩形或线性的，您也可以创造自己的测绘方法，并且不受测量点数量的限制。内建数十种预定义的测绘图案。

不同的F50 仪器是根据波长范围来加以区分的。标准的F50是****的产品。一般较短的波长(例如， F50-UV) 可用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

包含的内容：
集成光谱仪/光源装置
光纤电缆
4", 6" and 200mm 参考晶圆
TS-SiO2-4-7200
BK7 参考材料
整平滤波器(用于高反射基板)
真空泵

备用灯

型号规格