LDI激光直写光刻机产品中心

科毅科技股份有限公司

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产品详情

科毅科技

LDI激光直写光刻机

参考报价：电议
型号：LDI激光直写光刻机

产地：广东
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详细介绍：

项目	参数
支持基板尺寸	12inch（兼容8inch）
分辨率	L/S 2/2μm；Hole 4μm
套刻精度	正面±0.6μm、背面优于2μm
光源类型	LD
产能	40WPH

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