曝光光源

350W、500W、1KW、2KW汞灯/UV-LED

晶圆尺寸

2”-12”

均匀性

≤ ±3％ 和 ≤±5％ 

对准精度

±1μm（选配±0.5μm）

分辨率

±1μm（选配±0.8μm）

产能

≥70wph