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冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机
报价:面议
品牌:
产地: 日本
关注度: 1358
型号: SPP800S
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半导体行业专用仪器

SPP800S

国产半导体行业专用仪器

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产品介绍

 SPP800S 是半自动通用抛光型设备,不仅可以处理氧化层和金属膜,而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头,可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏,使用操作方便。


产品特点

 SPP800S 是半自动通用抛光型设备,不仅可以处理氧化层和金属膜,而且可以去除晶圆表面损伤层。该机型装备有两个抛光头和一个定盘修正头,可实现高的吞吐量。它具有独特的软件和触摸屏,使用操作方便。



性能参数

项目参数

加工材料

硅晶片、电子部品、脆性材料

适用晶圆尺寸

3 - 8 英寸

设备尺寸

1380 (W) x 1210 (D)* x 1873 (H)

厂务条件

10KVA, 200V, 3 Phase, 50/60 Hz

压缩空气压力

 ≧5.0 Kg/cm?

去离子水压力1.0-1.5Kg/cm?
去离子水流量 5 升/分钟
排气量3m?/分钟
冷却水(真空泵用)压力:2.0Kg/cm?
流量大于3 升/分钟
冷却水(抛光定盘冷却系统用)2.0Kg/cm?
流量大于3 升/分钟



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产品小贴士

冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机由一桥半导体科技(苏州)有限公司提供,产地为日本,属于进口半导体行业专用仪器,符合多项国家和国际标准,广泛应用于综合其他等领域,冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机凭借其创新性与实用性,在半导体行业专用仪器用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据官方产品资料显示:冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机的型号是SPP800S。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
冈本OKAMOTO 全自动抛光机 PNX332B 进口 电议
冈本OKAMOTO SiC碳化硅/GaN氮化镓晶圆减薄抛光一体机 GNX200BP 进口 电议
冈本OKAMOTO超精密半自动减薄机 VG401MK II / VG401H 进口 电议

官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns35619/productsdetail_376275.html
来源:一桥半导体科技(苏州)有限公司
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一桥半导体科技(苏州)有限公司为您提供冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机,冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机产地为日本,属于半导体行业专用仪器,除了冈本OKAMOTO半自动CMP化学机械抛光机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供冈本OKAMOTO 全自动抛光机、冈本OKAMOTO SiC碳化硅/GaN氮化镓晶圆减薄抛光一体机、CMP修整器。
工商信息
企业名称

一桥半导体科技(苏州)有限公司

企业类型

信用代码

91320594MAC2JX151C

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