SEM SELN-001B 日本 精密设备就位调平与验收数字水准测量方案

2026/10/30  阅读:3

方案摘要

行业痛点:半导体设备与精密平台就位调平长期依赖气泡水准器,气泡位置随观察角度变化,温度波动使读数迟滞;狭小间隙与设备内部常规水准器无法安放;无线水准器在电磁复杂或禁止无线信号外泄的工位受限;调平结果无法量化记录,验收阶段缺少倾角数据存档;传感器与显示器分体布置时,电缆长度与接头可靠性影响长期使用;零点漂移未定期复核会导致调平基准偏差;操作人员目视气泡判断合格范围不一致,新手调平耗时。

解决方案:方案配置日本坂本电机制作所 SELN-001B 有线式两轴精密数字水准器,传感器单元与显示器经2m电缆连接,适合电磁环境复杂与禁止无线信号的工位。传感器SUS底座φ50×H19mm,重量轻,可置于晶圆传输腔体、精密平台与机械臂等狭窄位置。X、Y方向线性角度均为±0.3deg,测量分解能0.0002deg,零点重复精度±0.001deg以下,响应速度50ms以下;显示器4.3英寸彩色液晶触控,画面以气泡图形复现水准器状态,操作人员按目视气泡习惯调平即可。合格角度范围可按0.0001deg单位设定,新手按图形与数值提示操作。供电采用专用AC适配器DC6V/2A或四节单3电池,现场无电源时以电池供电。传感器底面与被测平面贴合,电缆2m固定走线;维护时SUS底座避免磕碰划伤,底面污染以软布擦拭,电缆接头防止受潮油污,长期使用后零点漂移按厂家周期返厂复核。同系列SELN-011B为带数据存储有线式,SELN-121BM为无线国内版。

方案优势:有线结构规避无线信号限制,适合电磁复杂工位;SUS小传感器可放入狭窄与高处位置,一人完成调平;双轴同测减少工序往返,气泡图形加数值呈现降低判读负担;合格范围按0.0001deg设定,新手操作一致性提升;AC与电池双供电适配有无电源现场;同系列带存储与无线机型可按工位扩展;显示器W96×D35×H145mm约392g,使用温度负10至正50℃。校准条件、底座配件与数据输出接口以正式规格书为准。


配置单
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