DIAVAC LIMITED PSG-1 日本 低真空段分离式真空测量联动报警方案

2026/10/26  阅读:28

方案摘要

行业痛点:真空炉、手套箱与成膜装置在常压到低真空段需要连续压力指示,现场腔体附近存在发热、振动与油污环境,控制电路长期布置在恶劣工况下稳定性下降;测量信号需要远距离送入车间PLC与记录仪,普通电压信号在长线传输中易受干扰;灯丝属于消耗件,老化后整机更换成本偏高;自动工序需要上下限压力接点联动真空阀与工序启动,缺少接点输出则只能人工监视;不同腔体的真空接口规格不统一,传感器选型与安装适配反复调整。

解决方案:方案采用DIAVAC LIMITED PSG-1分离型皮拉尼真空计,本体显示控制单元与P-09测定子分开布置,两者经9针D-SUB连接器与最长100m电缆连接,控制电路安置于远离热源与振动的控制柜内。测量采用恒温法,量程1.0×10⁵至1.0×10⁻¹Pa,覆盖脱泡脱气、减压干燥、真空含浸、真空隔热与表面处理常规低真空区间。压力信号以4至20mA输出、负载400Ω以下接入PLC与记录仪;断线信号开集电极常闭输出、DC30V/50mA;选件提供两个独立设定点,开集电极常开、DC30V/50mA,兼作压力开关实现高低真空联动。电源DC12至24V、约150mA,测头环境0至40℃;真空接口标准φ15,可选NW16法兰,铝壳体φ63×120mm、约200g;灯丝老化后单独更换测定子部件即可。

方案优势:本体与测头分离后电路避开腔体发热振动环境,长期运行更稳定;4至20mA标准电流信号抗长线传输干扰,便于组网;更换测头不必更换整机,备件成本降低;双设定点接点直接支撑工序自动联锁;φ15与NW16接口选项适配常见腔体;量程覆盖常规低真空工艺段;本体集中安置于控制柜内显示与记录,便于值班巡检,多台腔体可经4至20mA信号接入同一监控系统;测头单件更换减少整机备件占用,老旧真空设备改造与新增工位扩容均可直接适配。皮拉尼读数以空气为基准,特殊气体需做修正,接口选配、接点动作逻辑与电气接线以正式规格书为准。


配置单
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