日本 INTECS UIH‑1 (H) 晶圆雾度高亮目视检测照明方案2026/10/22 阅读:36
方案摘要
行业痛点:低对比度雾度、细微划痕与内部气泡在普通照明下难以显现,强光直射又容易产生眩光与反光,照度不均使缺陷特征被掩盖;判定结果依赖检验人员经验与视力状态,不同班次结论存在波动;透明材料两面与内部缺陷需要分别观测,设备角度与高度调节不便会拖慢复检节奏,光源寿命与散热管理不到位还会影响长时间连续作业的稳定性。
解决方案:方案配置 INTECS UIH-1 (H) 超高亮度卤素检查灯,以特制高亮度卤素灯为光源,通过高亮度光线诱发 TINDALL 现象,使表面尘粒、划痕与内部异物、气泡进入可见范围。UIH-1 (H) 为抛光晶圆雾度检查专项机型,照射面投影三条检查标记,检验人员依据标记对比度判定雾度状态。灯额定值 15V 150W,配 φ50mm 抛物线形冷反射镜,设计照射径 φ40mm 对应距离 180mm,1H 型采用 F2 口径成像透镜以保证标记解像度;SCR 相位控制调光,亮度可变幅度 10:1 以上,强制空冷散热,电源部自立式支架,灯箱角度、高度与照射径可自由调整,整机约 7kg。
方案优势:三条标记把雾度观感转化为对照判定条件,降低人员经验依赖;高亮度光束适合微米级划痕与微小气泡检出;冷反射镜与成像透镜分工兼顾亮度与解像度;调光范围宽可适应不同表面反光特性;自立结构与可调支架便于工位布置;强制风冷维持长时间连续照明稳定。具体亮度随照射距离与照射径变化,现场应按被测物尺寸选定机型,参数以正式规格书为准。
配置单
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