中国台湾 Lumos Technology X-Loupe ITL Mk1 灰尘检测灯 洁净室异物目检光照方案

2026/10/19  阅读:169

方案摘要

行业痛点:洁净室普通照明下微粒与背景对比度低,黏附颗粒难以肉眼分辨;带风扇的检测灯形成局部紊流,扰动悬浮颗粒反而落向工件;单一固定波长只能显现一类异物,荧光性尘埃在普通光下不可见;圆形小光斑覆盖范围有限,整片晶圆需反复挪灯,检验节奏被打断。
解决方案:以ITL Mk1基础型准直面阵光源配合特定波长与低角度照射,使颗粒轮廓显现;无风扇被动散热杜绝气流扰动;双光源通道可切换,白/绿标配、蓝/琥珀选配,绿光呈现细尘、蓝光激发荧光异物;0%至100%调光与角度可调,大面积光场覆盖整片工件,支持外接相机与脚踏开关切光。
方案优势:被动散热不扰流,契合洁净室气流稳定要求;双波长切换应对不同材质异物;大面积面阵优于常规小圆光斑,减少移动操作;不锈钢机身便于清洁消毒,脚踏释放双手,相机接入便于留存影像用于复核。白色背景工件建议升级高级型号。

配置单
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