日本 ANELVA M-431HG 真空计控制器 溅射腔室宽量程真空测量联锁方案

2026/10/19  阅读:38

方案摘要

行业痛点:粗抽到高真空跨度大,单量程仪表需人工换档,容易在切换瞬间漏掉压力变化;普通控制器接口不全,难以接入产线通信;规管灯丝在压力回升时失去保护,频繁氧化烧毁,更换成本高;采购时控制器与规管、电缆错配,现场无法联机。


解决方案:M-431HG为CANON ANELVA专为MG-2微型B-A规配套的控制器,压力显示范围0.01×10⁻⁷至13.2×10⁰Pa并自动换档,发射电流10μA、100μA、1mA可自动或固定;13.3×10⁰Pa自动断灯丝。标配两点带迟滞设定点,0至10V对数或组合D/A输出,RS232C通信(9600至1200bps),支持灯丝开关、除气、量程保持遥控;90至240VAC宽压,1.2kg、104×99×296mm。


方案优势:宽量程自动换档覆盖抽气全程,无需人工干预;两点迟滞设定点直接联动泵阀,避免抖动误动作;通信与模拟输出齐备,便于接入自动化系统;灯丝自保护延长规管寿命,选型时按MG-2规管与5至20米电缆成套核对即可。


说明:经核查CANON ANELVA CORPORATION(日本)官网,M-431HG在售;显示范围0.01×10⁻⁷至13.2×10⁰Pa、发射电流三档、两点迟滞设定点、0至10V D/A、RS232C、1.2kg、13.3×10⁰Pa灯丝切断均为官方参数;规头MG-2与电缆单独供货。

配置单
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