坂本電機 SELN-001B 精密装配水平校准方案2026/09/28 阅读:216
方案摘要
行业痛点:机床与半导体设备在安装时若水平度偏差超过角秒级,会导致加工精度漂移与晶圆搬运异常。传统气泡水准仪读数分辨率有限,多人多次测量重复性差,辊道平行度调整缺乏量化反馈。
解决方案:株式会社坂本電機製作所SELN-001B为有线分体式2轴数字精密水准仪,传感器通过2米电缆连接4.3英寸彩色触摸显示本体。X与Y轴线性角度范围各为±0.3度,零点重复精度±0.001度以下,分辨率0.0002度,响应时间≤50毫秒。传感器放置于被测平面即可在屏幕上读取两轴倾角数值。
方案优势:0.0002度分辨率与±0.001度重复精度满足半导体与精密机床的安装校准需求,分体式传感器便于在狭窄工位放置而显示端由操作人员手持读取。2轴同步显示减少了单轴仪多次翻转测量的误差积累,触屏操作使水平调整过程直观高效。
配置单
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