日本NAPSON便携式非破坏电阻测定器EC-80P半导体硅片分选解决方案2026/09/17 阅读:185
方案摘要
行业痛点:薄晶圆与镀层若用四探针接触测量,探针易扎伤表面,且只能逐点接触,无法在线评价大尺寸厚料;不同膜电阻量级跨度大,单点仪器很难一台覆盖。研发与来料分选常因此被迫在破坏性与检测效率之间取舍。
解决方案:EC-80P采用非破坏涡流法,手持探头轻触表面即可单点测定电阻率与シート电阻,试样不小于φ20mm且有平面。全探头合计电阻率量程1m至200Ω·cm、シート电阻10m至3kΩ/□,按Low、Middle、High、S-High、Solar Wafer分档更换探头。本体约4kg,探头可同时接两根,电阻率与シート电阻模式一键切换,JOG旋钮设定。需批量布点时另配半自动台架。
方案优势:非接触不损伤晶圆与镀层,适合硅片、SiC、ITO、石墨烯等新膜分选;探头按阻值量级分档,选购前先锁定被测膜阻值范围;探头可更换、双探头可同时接入,现场迁移方便。单机为手持单点,多点测试需人工布点。具体参数以正式规格书为准。
配置单
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