广东大族半导体装备科技有限公司
  • 大族半导体
    参考报价:电议
    型号:12英寸双轴全自动刀轮切割设备
    产地:广东
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  • 详细介绍:


    主要特点:

    1、高精度:针对半导体行业的高精度设计

    2、自动校准:搭载自动对焦、自动对准、刀痕识别及崩边检测等图像处理功能

    3、对向式主轴:2.2KW,60000rpm,大功率,直流轴,多种切割模式可选,并配有更方便的数据管理和日志管理,随时监控生产状况

    4、全自动集成:全自动上下料、对准、切割、清洗、无人化值守,并可远程监控完成

    主要参数:

    主轴转速        rpm10000-60000对准系统照明光源同轴+环形
    输出功率     kw2.2/2.4镜头放大倍率6X + 0.8X
    X轴有效行程     mm500显示器17寸触摸屏
    划切速度   mm/s0.01-600操作系统控制系统GALIL运动控制卡
    Y轴有效行程     mmMax315操作系统Windows 7
    单步精度     mm0.001/5语言中文
    累积误差     mm0.003/315加工尺寸工作尺寸MaxØ12″或□300X300
    Z轴有效行程     mmMax30圆形工作台MaxØ12″
    重复定位精度  mm0.001方形工作台300mmX300mm
    **刀具尺寸  mmØ58电源电源三相AC380V±10%
    T轴转角范围     degMax380气源压缩空气压力0.5-0.7 Mpa
    重复定位精度  deg±0.001压缩空气耗气量500L/min
    功能自动对准标配水源切割水流量11.0 L/min
    刀痕自动检测标配主轴冷却水流量4.0 L/min
    位置自动修正标配外形尺寸体积      mm1260x1780x1950
    NCS测高选配净重      kg约2100

    加工效果: