紧凑型涂胶显影机产品中心

产品详情

详细介绍：

主要特点：

设备特点：

1、占地小、稳定性高、操作与维护方便

2、易于操作，界面友好

3、保养维护方便

主要参数:

主要参数	片盒数量	2CS
	wafer 类型	圆片
	wafer 尺寸（mm）	50-150
	产能（WPH）	50
	衬底材料	Si、Glass、Sapphire、GaN、GaAs、SiC、LiTaO3、Li3PO4
	适用工艺	g-line、i- line、PI