广东大族半导体装备科技有限公司
  • 大族半导体
    参考报价:电议
    型号:激光去除设备
    产地:广东
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  • 详细介绍:


    主要特点:

    设备特点:

    1、整机全自动化运行,可根据客户产品需求定制

    2、高精度对位系统,视觉与激光同轴设计,保证加工精度

    3、自主开发检测功能,去除后可以自动对加工点位做AOI检测,并上传检测结果

    4、可匹配不同尺寸的芯片大小,自动调节光斑尺寸大小

    5、加工效果好,加工后无粉尘残留,无芯粒、电极残留,不会损伤、影响周边芯粒以及线路,并且兼容线路cutting的功能


    主要参数:


    主要参数Donor尺寸

    4/6/8 inch (可定制)

    TFT基板尺寸

    4-17.4 inch (可定制)

    波长

    1064nm、532nm、355/266nm

    物镜5X、10X、20X、50X
    激光功率≥300mW@355nm or ≥200mW@266nm
    光斑形貌

    类平顶

    光斑尺寸

    0-50um可调

    聚焦激光自动聚焦
    定位根据扫码获取参数,自动寻址定位
    激光落点精度≤1um
    寻址精度≤1um
    XY运动平台根据产品定制