高效单晶圆棒产品中心

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详细介绍：

高效单晶圆棒是采用直拉法制备的<100>晶向的单晶，主要用于制备低衰减高转换效率的太阳能电池。高效单晶经过装料-合炉-化料-调温-稳温-引晶-放肩-转肩-等径-收尾-停炉等工序而制备得到的高纯度、高寿命、低成本、晶体结构趋近**的单晶圆棒。参数如下：

序号	项目	规格	检测方式
Material Propeties 材料特性
1	Growth Method 生长方式	Czochralski (CZ) 直拉法	-
2	Dopant 掺杂剂	Boron doped 硼掺杂	-
3	Type 型号	P-Type P型	Napson EC-80TPN P/N型测试仪
4	Oxygen content 间隙氧含量	≤8.0×1017 atoms/cm3	FTIR(ASTM F121-83) 傅里叶变换红外光谱仪
5	Carbon content 替位碳含量	≤5.0×1016 atoms/cm3	FTIR(ASTM F123-91) 傅里叶变换红外光谱仪
6	Surface orientation 表面晶向	﹤100﹥±3º	X-ray Diffraction Method X射线衍射仪
8	Dislocation Density 位错密度	≤500 pcs/cm²	Preferential Etch Techniques(ASTM F47-88) 择优化学腐蚀法
Electrical Propeties 电学特性
1	Resistivity 电阻率	■ 0.5-1.5 Ω·cm □ 1.0-3.0 Ω·cm □ 其它： Ω·cm	4-probe resistivity measurement 四探针电阻率测试仪
2	Silicon rod minority lifetime 硅棒少子寿命	≥50us	Sinton BCT-400（SEMI PV13）