结构:主要由Y轴大理石直线电机模块及Z轴精密移动模块组成，还包括涂布头,涂布头调节模块，注液模块，风刀模块及电控部分组成。工艺:所选涂料经过注液泵注入高精度涂布头，基材在大理石平台上被真空吸附定位，涂布头调平后直线电机平台装载基材移动，完成基片均匀涂布。