一、设备组成

此款定制智能型连续进出料CVD设备包含主要由七大部分，进料腔，大口径管式炉、出料腔、推拉机构、供气系统、真空系统、以及自动化控制软件组成。

1、进料腔：

进料腔密封腔体采用石英管，两端采用横向法兰密封；进料腔左侧法兰上配有一个φ16mm的推料杆，可以实现真空或惰性气体保护下推送载具进入高温炉内；进料腔右侧法兰通过气动插板阀与高温炉链接和隔断，可以实现进料腔和高温管式炉相互独立工作，互不干扰。

2、高温生长炉：

大口径管式炉采用优质电阻丝加热，**使用温度可达1100℃，加热区长度为300+300+300mm，采用3段控温且每段上下两点控温的方式，可有效提高温差均匀性；同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能，大大降低了对操作人员经验的要求。

3、出料腔：

出料腔密封腔体采用石英管，两端采用横向法兰密封，出料腔右侧法兰上配有一个φ16mm的拉料杆，可以实现真空或惰性气体保护下从高温炉内将载具拉入出料腔内降温冷却；出料腔左侧法兰通过气动插板阀与高温炉链接和隔断，可以实现出料腔和高温管式炉相互独立工作，互不干扰。

4、推拉机构：

进料腔左侧密封法兰上配有推料杆及轨道；出料腔右侧密封法兰上配有拉料杆及轨道；可以实现真空或惰性气体保护下将载具推送进高温炉或将载具拉离高温炉。

5、供气系统：

供气系统包含3部分，进料腔配备1路质量流量计惰性气体供气装置，高温生长炉配备1路质量流量计惰性气体混气装置，出料腔配备1路质量流量计惰性气体供气装置；共计5路质量流量计。

6、真空系统：

进料腔配备1套机械泵（机械泵抽速16m³/h、型号DRV-16），高温生长炉1套机械泵（机械泵抽速24m³/h、型号DRV-24），出料腔配备1套机械泵（机械泵抽速16m³/h、型号DRV-16），以及真空计、手动挡板阀、波纹管等连接件共计3套。

7、触摸屏控制系统：

采用触摸屏自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持，一键操作。

二、技术参数