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PECVD系统
报价:面议
品牌: 贝意克
产地: 安徽合肥
关注度: 2332
型号: BTF-1400C-D-CVD
核心参数

非金属电热元件:碳化硅

金属电热元件:其他

烧结气氛:其他

温控精度:±1℃

最高温度:1400℃

额定温度:≤1300℃

标签

贝意克管式炉

贝意克BTF-1400C-D-CVD

国产管式炉

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产品介绍

一、产品特色

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料,配S型热电偶,单点控温;设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管

2、气路系统可精确控制4路气体按不同流量进行混合配比,另外单独2路气体可精确控制进入蒸发器中作为载气参与反应。气路管路及阀门,精工件都采用316L材质。

3、反应管组件

反应管组件使用耐高温刚玉管,石英管两端安装可旋转磁流体,采用步进电机驱动进行旋转。

4、射频组件

大功率射频发生器,配合石英反应管可使整个实验腔体都处于辉光区域,反应均匀。

5、蒸发系统

采用可控温油浴加热配合保温伴热的形式,确保蒸发源有足够的反应温度

6、真空系统

双真空泵联动结构,配合尾气中和罐,可对实验产生的尾气进行处理

7、智能控制系统          

采用智能PID模糊控制,30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。


二、技术参数

**温度

1400℃

持续工作温度

≤1300℃

升温速率

≤10℃/min

控温精度

±1℃

加热元件

硅碳棒

热电偶

S型

控温方式

模糊PID控制和自整定调节,人工智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能。

加热总功率

≤20KW

加热区尺寸

350+400+350mm

真空度

≤5pa

射频功率

1000W

设备尺寸

3000*600*1500mm

设备重量

约1000KG


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产品小贴士

PECVD系统由安徽贝意克设备技术有限公司提供,产地为安徽合肥,属于国产管式炉,符合多项国家和国际标准,广泛应用于综合其他等领域,PECVD系统凭借其创新性与实用性,在管式炉用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据贝意克官方产品资料显示:PECVD系统的非金属电热元件为碳化硅,金属电热元件为其他,烧结气氛为其他,温控精度为±1℃,最高温度为1400℃,额定温度为≤1300℃,PECVD系统的型号是BTF-1400C-D-CVD,品牌为贝意克。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
前端预热法硫化钼制备设备 贝意克 BTF-1200C-400C 国产 电议
六通道管式炉 贝意克 BTF-1200C-6D 国产 电议
真空管式炉(BTF-1400C) 电议
客户服务热线:400-810-0069转7574(售前/售后支持)
官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns15299/productsdetail_358845.html
来源:安徽贝意克设备技术有限公司
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安徽贝意克设备技术有限公司为您提供贝意克PECVD系统,PECVD系统产地为安徽合肥,属于管式炉,除了PECVD系统的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供卷对卷连续化生长CVD设备RTR-III-80、大面积CVD石墨烯生长设备、前端预热法硫化钼制备设备,贝意克客服电话400-810-00697574,售前、售后均可联系。
工商信息
企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

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注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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