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C2GR16-气相沉积炉
报价:面议
品牌: 皓越科技
产地: 上海
关注度: 14
型号: VHCgr-20/20/30-1600
核心参数

非金属电热元件:其他

金属电热元件:其他

烧结气氛:真空

最高温度:1600℃

标签

皓越科技粉体焙烧炉

皓越科技VHCgr-20/20/30-1600

国产粉体焙烧炉

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产品介绍

一、C2GR16-气相沉积炉基本原理与特点
1.基本原理:
热诱导化学气相沉积(英语:chemical vapor deposition ,CVD)是用于各种电介质,半导体和金属材料的保护涂层的沉积的有力方式,无论是单晶,多晶,无定形或外延状态上或大或小的形态。典型的涂层材料包括热解碳,碳化硅,氮化硼。通过使用合成前体,涂层非常纯净并目满足半导体工业的典型要求,根据工艺参数,可以有多种层厚度,从单个或几个原子层到厚度从10纳米到数百微米的固体保护层或功能层,以及厚度达100微米的单片部件,甚至高达数毫米
2.设备特点:
(1)采用卧式、侧开门结构,装、卸料精度高,操作方便;
(2)采用优良的控制技术,能精密控制MTS的流量和压力,炉膛内沉积气流稳定,压力波动范围小;
(3)温度均匀性好,平均温度均匀性为±5℃;
(4)采用多通道沉积气路,流场均匀,无沉积死角,沉积效果好;
(5)全封闭沉积室,密封效果好,抗污染能力强;
(6)安全性能好,采用HMI+PLC+PID程序控制,安全可靠;
(7)对沉积产生的高腐蚀性尾气、易燃易爆气体、固体粉尘及低熔点粘性产物能进行有效处理;
(8)多级高效尾气处理系统,环境友好,能高效收集焦油及副产物,易清理;
(9)采用设计防腐蚀真空机组,持续工作时间长,维修率极低。
二、C2GR16-气相沉积炉主要技术参数:

1编号C2GR16
2产品型号VHCgr-20/20/30-1600
3**设计温度(℃)1600
4加热元件等静压石墨
5加热功率(kW)45
6冷态极限真空度(Pa)6.7x10-3Pa(空炉、冷态、经净化)
7测温元件钨铼热电偶
8升温速率1~20℃/min
9温度均匀性±5℃(5点测温,恒温区1000℃保温1h后检测)
10炉膛尺寸(mm)200x200x300(WxHxD)
11可通入气氛1路CH3SiCI3、1路氨气、1路氢气、1路氮气
12气氛流量计4路质量流量计
13设备外形尺寸(mm)1425x1550x1850mm(LxWxH)

 















三、化学气相沉积炉(CVD气相沉积炉)产品展示图:

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问商家
  • C2GR16-气相沉积炉的工作原理介绍?
  • C2GR16-气相沉积炉的使用方法?
  • C2GR16-气相沉积炉多少钱一台?
  • C2GR16-气相沉积炉使用的注意事项
  • C2GR16-气相沉积炉的说明书有吗?
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  • C2GR16-气相沉积炉包安装吗?
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产品小贴士

C2GR16-气相沉积炉由上海皓越真空设备有限公司提供,产地为上海,属于国产粉体焙烧炉,符合多项国家和国际标准,广泛应用于石油/化工、矿业/冶金、综合其他等领域,C2GR16-气相沉积炉凭借其创新性与实用性,在粉体焙烧炉用户中获得广泛关注。

据中国粉体网显示:该产品已通过粉体网认证,在产品性能、服务能力等维度表现优异,用户平均评分达9.5(满分 10 分)。

根据皓越科技官方产品资料显示:C2GR16-气相沉积炉的非金属电热元件为其他,金属电热元件为其他,烧结气氛为真空,最高温度为1600℃,C2GR16-气相沉积炉的型号是VHCgr-20/20/30-1600,品牌为皓越科技。

在同系列产品中,您还可以选择以下型号:
产品名称 品牌 型号 产地类型 价格
气压烧结炉 皓越科技 PVSgr-20/25-2000 国产 40-50万元
多功能烧结炉 皓越科技 PVPgr-20/25-2000 国产 30-40万元
氢气炉(立式) 皓越科技 VVSmo-65/120-T 国产 电议
客户服务热线:400-810-0069转8272(售前/售后支持)
官方链接:
https://m.cnpowder.com.cn/ns22085/productsdetail_391140.html
来源:上海皓越真空设备有限公司
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上海皓越真空设备有限公司为您提供皓越科技C2GR16-气相沉积炉,C2GR16-气相沉积炉产地为上海,属于粉体焙烧炉,除了C2GR16-气相沉积炉的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供CVD管式炉、SPS等离子体放电热压烧结炉、气压烧结炉,皓越科技客服电话400-810-00698272,售前、售后均可联系。
工商信息
企业名称

上海皓越真空设备有限公司

企业类型

信用代码

91310114691572306C

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

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