Phenom XL G3 是飞纳推出的大仓室台式扫描电镜，专为锂电池极片形貌观察设计，可有效分析正负极材料表面、涂布层和颗粒分布。设备采用 CeB6 灯丝，电子光学放大倍数可达 200,000 X，分辨率优于 8 nm，平均成像时间约 40 秒，支持** 100 × 100 mm 样品，单次可承载 36 个样品，适合大尺寸极片及多样品批量检测场景。

锂电池检测面临的挑战

• 极片尺寸大：传统小型样品仓无法容纳完整极片，需要切割后观察，可能引入二次污染或破坏原始形貌

• 检测效率低：锂电生产节奏快，需要快速完成多样品观察，传统设备成像耗时长，影响产线效率

• 材料类型多样：正负极材料、隔膜、涂布层等不同材料对真空度和探测器要求不同，需要灵活适配

• 颗粒分析需求：需要识别涂布层中的颗粒分布、异物污染，辅助工艺优化和质量管控

Phenom XL G3 如何解决

• 大仓室设计：可容纳** 100 × 100 mm 样品，无需切割极片即可直接观察，保持样品原始状态

• 快速成像能力：平均成像时间约 40 秒，单次可承载 36 个样品，满足批量快速检测需求

• 三档真空模式：低/中/高三种真空模式，灵活适配正负极材料、隔膜、涂布层等不同类型样品

• 高分辨率成像：分辨率优于 8 nm，放大倍数** 200,000 X，可清晰呈现涂布层微观结构和颗粒分布

• 灵活探测器配置：标配背散射探测器用于形貌观察，可选配能谱探测器进行颗粒成分分析，全面支持质控需求

关键性能指标

典型应用场景

• 锂电池极片形貌观察：正负极材料表面微观结构、孔隙率、颗粒分布的快速观察

• 电池材料研发：新型电极材料、粘结剂、导电剂的微观形貌表征与性能优化

• 正负极材料分析：涂层均匀性、厚度一致性、表面缺陷的定量评估

• 隔膜材料观察：隔膜孔隙结构、表面损伤、热收缩等特征分析

• 新能源质控：产线极片抽检，颗粒异物识别，工艺问题溯源

技术参数

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