世界首台台式冷场扫描电镜在合肥问世

中国粉体网迅  近日，世界首台台式冷场扫描电子显微镜在合肥发布，标志着我国冷场扫描电镜领域实现了零的突破。该产品为合肥科大硅谷招引企业合肥国镜仪器科技有限公司（“国镜仪器”）自主研发。

国镜仪器本次发布的冷场台式电镜（MicroST DCF-100），以冷场电子发射技术和电子光学控制技术为核心，具备超高分辨率、高亮度、小交叉斑直径、低能量色散等特性，其独特的冷场发射技术真空要求仅为10^-7Pa，引出电压仅需100V，极大地降低了工况要求，为国内首台冷场电镜产品，也是世界首台小型化冷场电镜。

据介绍，冷场电子光学技术相对于热发射和热场技术，具有高亮度、低色差等优点，通常也需要更高的真空要求（10^-9Pa）和较高的引出电压（6-8kV），目前为海外少数企业所掌握。

扫描电子显微镜（SEM）作为高端仪器装备，是纳米尺度下微观检测的核心主力仪器，被广泛应用于高校科研、工业检测等高端研究应用领域，对新材料、新能源等强依赖纳米尺度技术发展的产业方向有极其重要的支撑和推动作用。

据了解，国镜仪器为安徽省科技仪器领域的硬科技初创企业，公司的核心骨干来源于中国科大校友。2023年10月，国镜仪器落户于科大硅谷高新园区中国声谷片区。在国镜仪器成立一周年之际，公司成功发布了国内首台冷场电镜产品。国镜仪器产品的发布是科大硅谷助推科技成果从“实验室”走向“应用场”的缩影。

如今，国镜仪器这家公司基于自主掌握的世界一流电子光学技术及团队深耕实验室，了解行业优势，开发扫描电镜产品，填补了该领域国产高端仪器装备的空白，企业发展驶向“快车道”。

参考来源：

上海证券报、合肥发布微信端、环球网等

（中国粉体网编辑整理/青黎）

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