中国粉体网讯 5月28日,无锡光未半导体材料有限公司超高纯石英砂项目在中欧产业创新区正式量产。
来源:梅里聚焦
无锡光未公司计划总投资2亿元,建成3条超高纯石英砂产线,2024年7月启动建设,2025年5月首条产线建成并投产,预计年产量700吨、年销售3亿元。项目整体完成后,年产量增至2700吨,年销售超9亿元。
合成石英砂具有高硬度、高耐磨性和化学稳定性等良好的物理和化学性质,其物理性质与天然石英砂相似,具有良好的耐高温性能、耐磨损性能、耐腐蚀性能、耐压强度高、绝缘性能强等优点。合成石英砂的生产不依赖于天然石英矿产,可以通过化学合成法制备,其技术路线包括气相合成法、化学沉淀法、溶胶-凝胶法、四氯化硅液相水解法等,因为纯度更高、光学性能更良等特性,除了在高端光学领域得到广泛应用以外,也符合半导体制程对石英制品高纯、无污染、耐高温的要求。
据国家知识产权局公布的无锡光未半导体材料有限公司一种超高纯度7N级合成石英砂制备工艺专利显示,该公司合成石英砂的制备工艺流程为如下:
溶液制备与反应:在一体化节能处理设备中加入乙醇和四乙氧基硅烷,将四乙氧基硅烷与乙醇混合,通过一体化节能制备装置将其搅拌均匀;在搅拌过程中,缓慢加入水和盐酸进行水解和缩合反应,并生成硅酸盐;随着水解缩合反应的进行,硅酸盐开始凝胶化,形成溶胶,随着反应的进行,溶液的黏度逐渐增加,最终形成凝胶网络结构;
热处理:凝胶在完成凝胶化后,通过一体化节能制备装置对凝胶进行干燥处理,去除凝胶中的水分;随后对干燥后的凝胶进行高温煅烧,在煅烧过程中,二氧化硅凝胶会转化为致密的二氧化硅材料,制得高纯度的二氧化硅;
纯化处理:通过一体化节能制备装置对二氧化硅进行酸洗、水洗、中和以及干燥处理;
高温烧结:在真空环境下对二氧化硅进行高温烧结,进一步提高石英砂的纯度,烧结后的二氧化硅通过粉碎和筛分工艺来控制颗粒的粒度和形态,得到超高纯度7N级的合成石英砂。
来源:无锡日报
据了解,高纯合成石英砂长期被日本三菱化学垄断,虽然国内多家企业早前开始涉足合成石英砂领域,积极布局并拓展相关技术,但受限于合成成本、设备材质、生产周期、产品稳定性等因素,国内合成石英砂多处于研发、小试、中试阶段,未见大批量规模化生产。
无锡光未公司积极引进国际先进技术,高薪聘请国外专家团队,成功掌握超高纯合成工艺与杂质控制工艺,此次公司超高纯石英砂量产成功实现从实验室规模到工业规模的跨越,产品纯度达到7N级。
参考来源:梅里聚焦、无锡日报、无锡市数据局
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